隨著工業化生產環境對潔凈度的要求不斷提高,激光塵埃粒子計數器技術得到了快速蓬勃的發展。從軍工領域邁進民用,從技術滲透進社會各個層面,以激光塵埃粒子計數器為代表的潔凈技術正在逐步提高人類社會的生產能力、改善人類的居住環境。在半導體制造業中,社會對電子元件尺寸要求愈加苛刻,生產加工環境的潔凈度將直接影響產品的合格率,據統計約超過80%因為電學特性失效的電子芯片是由于生產環境中塵埃粒子的污染造成以半導體材料硅片為例,空氣的塵埃粒子能引起芯片電路元件開路或者短路。而在醫療衛生領域,藥品生產過程需要盡可能避免塵埃粒子、微生物等顆粒的污染。
塵埃粒子計數器是一種在潔凈領域應用廣泛的重要儀器,主要用于評定潔凈室潔凈度等級,還可用來檢測過濾器的過濾效率、潔凈織物的發塵量。使用的行業包含電子廠、藥廠、醫療器械廠以及檢測實驗室等等。是利用光的散射原理對空氣中的塵埃粒子數目和粒徑進行計量,工作原理:來自光源的光線被透視鏡組聚焦于檢測區域,塵埃粒子計數器通過采樣泵使采樣空氣通過該區域。當一個塵埃粒子(簡稱粒子)通過時,便把入射光散射一次,產生一個光脈沖信號,經過放大、甄別,篩選出需要的信號,再通過計數系統顯示出來,電脈沖信號的高度反映粒子的大小,信號的數量反映了粒子的個數。主要關注的技術指標就是粒子的大小和個數。
塵埃粒子計數器是應用Mie氏散射原理測量流體中單分散塵埃粒子的散射光強度以判斷粒子粒徑的精密計數儀器。以規定的流量從待測樣品中進行采樣,采樣氣流的粒子在通過激光均勻照明的光敏感區域時,塵埃粒子產生散射光,散射光收集系統把一定范圍內的散射光光通量收集起來并由光電傳感器轉換為脈沖電壓信號。
脈沖信號的幅度和粒子粒徑的大小成正比,可采用電壓幅度甄別器來甄別脈沖信號電壓的幅值,再送出數據進行處理。由于微米量級的粒子散射光強度很弱,需將信號前置放大為幅值足夠的電脈沖信號,再進行信號非線性放大處理。然后根據電脈沖幅值的大小甄別以送入不同粒徑檔通道計數,在顯示器顯示一個計數周期內各個計數檔的粒子數目。